簡單說的話，鋯靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。例如：蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜...鋁膜等。更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鉻、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。 

主要應(yīng)用在： 

1、微電子領(lǐng)域 

2、平面顯示器用靶材 

3、存儲技術(shù)用靶材等